Fraunhofer HHI вибирає систему розпилення Veeco

Інститут досліджень оптичної телекомунікації замовляє систему розпилення іонних пучків для створення лазерних фасетних покриттів та мікрооптичних приладів.

HHI використовуватиме технологію Veeco IBS для створення лазерних фасетних покриттів.

Veeco Instruments оголосив, що передав свою систему розпилення іонного пучка (IBS) і систему оптичного монітора Sirius до Інститут Фраунгофера для Телекомунікації(HHI).
Інститут, що базується в Берліні, Німеччина, заявляє, що використовуватиме цю технологію IBS "для розробки та виробництва лазерних фасетних покриттів та інших мікрооптичних пристроїв".
"Розробка складних мікрооптичних приладів вимагає виняткової технології розпилення", - прокоментувала Грета Роперс, керівник групи внутрішніх справ та упаковки компанії Fraunhofer.
«Система Spector від Veeco у поєднанні з Sirius OMS забезпечить розробку та виробництво пристроїв світового класу з найбільшою пропускною здатністю та повторюваністю процесів на автоматизованій, створеній платформі».

Оптичні тонкі плівки
За заявами замовників платформа Spector створює високоякісні оптичні тонкі плівки з покращеним рівнем продуктивності та пропускної здатності. На відміну від випаровувальних покриттів, розпилені тонкими плівками іонні промені наносяться при високих енергіях, забезпечуючи винятковий контроль товщини та низьку щільність дефектів для лазерного нанесення покриттів. .
«Fraunhofer HHI - світовий лідер у розробці лазерних фасетних покриттів та мікрооптичних пристроїв наступного покоління», - сказав д-р Адріан Девасахаям, віце-президент та генеральний менеджер Veeco's Advanced Deposition and Etch (AD&E). "Система Spector забезпечує неперевершену якість і гнучкість для точного оптичного покриття тонких плівок і прискорює цілі їх розвитку".
Фінансування цього проекту було надано Forschungsfabrik Mikroelektronik, дослідна фабрика мікроелектроніки та наноелектроніки, яка компрометує одинадцять інститутів групи Fraunhofer, а також Інновації у високоефективній мікроелектроніці та Інститут Фердинанда-Брауна, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. Система була продана у співпраці з європейським партнером Veeco,Veonis Technologies.